A clean room is any room or area in which an attempt is made to limit and control the amount of CONTAMINATION。

      洁净室是指可用来限制并控制污染量的任何室内或特定空间。

      污染包括:微尘,气化物,过度的震动,不适当的温度,湿度,照度,噪声,静电放电及有害的电磁场和干扰。

• 影响温度变异之根源

•  外气温度变化

•  室内发热源变化

• 维持恒温之对策

• 外气温度控制--MUA(Make Up Air Unit)

• 室内温度控制---D/C(Dry coil)及AHU(Air Handling Unit) with Process cooling water OAC(Outside Air Conditioner)

• CLASS 10 : 每立方呎内大于或等于0.5μm之灰尘颗粒不超过 10 个
• 其它常用规格( Fed. Std. 209 )

•  温度 22.2±0.15..2.8 0C

• 相对湿度 40 ± 2..5 %

• 差压 + 1.27 mmAq

• 换气次数 V/H *3600 T/h(风速 V= 0.28..0.45m/sec, 室内高度 H = 2.2..3.6m)

• 照度 1076..1614 lux

• 新鲜空气换气量 : 送风量之 5..20 % 或 50 m3/h*人

• 影响湿度变异之根源

• 外气湿度变化

• 室内发湿源变化(显热比=?)

• 维持恒湿之对策

• 外气湿度控制---MUA

• 室内湿度控制---D/C or AHU 及加湿除湿

• MAU system (湿度控制)

• Recrcuration Air system (FFU,Centrifugal fan,Axial fan) (微尘去除)

• Process cooling water (定温恒压控制)

• Dry coil,AHU (温度控制)

• Process Exhaust system(General Exhaust, Scrubbed Exhaust, Solven Exhaust,Ammonia Exhaust, Smoke Exhaust, Prrophroic Exhaust)

• House Vacuum Cleaning

• Breathing air system   

• MUA控制之方法

• 溫度

• 湿度：露点温度控制--SENSOR 很娇贵、湿度控制--需注意温度关系

• 控制溫度之方法

• 加热：电气加热、热水加热、蒸汽加热

• 冷却：冰水冷却、外气冷却

• 控制湿度之方法

• 加湿：蒸气加湿、水洗加湿、喷雾加湿

• 除湿：冷却除湿、化学除湿  

• DDC equipment (Hardware & Software)Process instrumentation

• Recrcuration Air system

• Control panels

• Cabling

• Pneumatic lines

• Labelling

• Accessory equipment    

• 正压维持 +1.27 mmAq

• 层流控制 0.28..0.45 m/sec 

• 空气循环量与滤网效率 N=V/H 

• 新鲜空气换气量 (送风量5..20% 或 50m3/h* 人)

• 秽气处理(scrubber) 

• House Vacuum System (室内吸尘系统)

    恒温、恒湿、洁净度等级控制、无振动干扰、无电磁干扰、适当的照明、安装成本/工期控制、运转成本、维护性&弹性等 

• Pre-filter ³ 5µ 70..85% , 外气用

• MEF 0.5..1.0µ  60..95% , HEPA上游 

• 准 HEPA ³ 0.3μ 80..95%, 30万10 万级 

• HEPA ³ 0.3µ   99.97%, 10000..100级 

• ULPA ³ 0.1µ   99.9995%, 100..1级 

• 超ULPA ³ 0.05µ  99.99995%, 10..1级   

• 干球温度 : 一般温度计量到的温度

• 露点温度 : 使空气中水汽开始凝结的表面温度

• 焓 : 空气热能单位及每湿空气所含的热量

• 相对湿度 : 单位体积空气中所含水汽之重量与同温度时饱和水蒸汽重量之比

• 显热比 : 空气中热显热与全热之比   

• 空气特性

• 含水量

• 含热量 

• 显热---可用温度计测出之热量

• 潜热---物相变化之热量

• 显热比---显热/总热 

• 控制溫度之方法：

• 加热

• 冷却

• 控制湿度之方法

•   加湿：蒸气加湿、水洗加湿&喷雾加湿等 

• 冷却：除湿、冷却除湿&化学除湿    

相对湿度:为一单位体积中水汽含量相对于饱和状态时的百分比

• 空气体积跟温度 (热涨冷缩)及压力有关
• 水与空气的膨涨系数不同( 因此温度变化时相对湿度会变化) 
• 水为不可压缩性,空气为可压缩性( 因此压力变化时相对湿度会变化) 
• 一定压力下空气中含水量有临界点,又称为饱和.此时的相对湿度称为相对湿度100%,此时的湿球温度称为露点温度

• 系统控制理论基础与基本设计

• Sensor/Actuator 之选用及安装位置

• 控制系统选用

• 系统参数调校

• 操作单纯化

• 运转及维护之考量

• 控制系统承包厂商之选定